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液化三氟化氮有什么危害?

来源:www.dehechem.com 发布时间:2022年12月10日
  液化三氟化氮化学式NF₃,在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。液化三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯液化三氟化氮具有好的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
  液化三氟化氮
  液化三氟化氮是低毒性物质,但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜,腐蚀组织。吸入高浓度NF3可引起头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3能损伤牙齿和骨骼,使牙齿生黄斑,骨骼成畸形。具有强氧化性。与还原剂能发生强烈反应,引起燃烧爆炸。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应,甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解,甚至发生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小时末见死亡,但出现高铁血红蛋白血症,当吸入10000ppm·l小时有死亡,在2500ppm时吸入毒后4小时死亡。高容许浓度:10ppm(29mg/m3)。
  
  如何才能不超过这个10ppm浓度限制呢?就需要用到液化三氟化氮检测仪,使用液化三氟化氮气体浓度检测仪可以检测其浓度,固定式液化三氟化氮检测仪安装于气体易泄露的地点,其核心部件为气体传感器,当液化三氟化氮泄露后挥发出来的气体传感器接触反应,固定式液化三氟化氮监测仪便会启动自身的报警功能声光报警,警醒工作人员。
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